专利名称:13族氮化物晶体专利类型:发明专利
发明人:下平孝直,平尾崇行,今井克宏申请号:CN201310419587.5申请日:20091225公开号:CN103556225A公开日:20140205
摘要:在使氮化镓晶体生长时,将晶种基板浸泡于含有镓和钠的混合熔液中。接着,在含氮气不含氧气的加压气氛下,以加热混合熔液的状态,使氮化镓晶体生长在晶种基板上。此时,作为搅拌混合熔液的条件,先采用第1搅拌条件,其被设定为使氮化镓晶体生长于晶种基板上以使生长面变凹凸,其后,再采用第2搅拌条件,其被设定为使氮化镓晶体生长于晶种基板上以使生长面变平滑。
申请人:日本碍子株式会社
地址:日本爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号
国籍:JP
代理机构:上海市华诚律师事务所
代理人:李晓
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